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反應燒結碳化硅懸臂槳

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濰坊明亮精細陶瓷有限公司

  • 聯系人:秦建增
  • 官網地址:www.chinasisic.com
  • 主營產品:山東碳化硅橫梁,山東碳化硅輥棒,山東碳化硅異形梁,山東碳化硅噴火嘴,碳化硅窯車結構件
  • 所在地:山東省濰坊市昌樂縣利民街147號28號樓
  • 供應產品:31
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產品詳情

Product details

反應燒結碳化硅懸臂槳

反應燒結碳化硅懸臂槳,是半導體晶圓裝載系統的關鍵部位。反應燒結碳化硅懸臂槳性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓裝載量大,適用于機器人自動裝載和搬運系統。由于懸臂槳截面穩定不變形,使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能。懸槳與LPCVD涂層在熱膨脹系數相近,應用于LPCVD,極大地延長了維護清洗周期,并大幅減少污染物。

反應燒結碳化硅懸臂槳

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  • 聯系人姓名:秦建增
  • 聯系人職位:總經理
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